一國企已開始量產自主研發的DUV光刻機製造設備長鑫存儲或成為首批客戶之一

7月27日，據TheInformation援引知情人士消息，位於上海的某國資背景企業已開始量產自主研發的DUV（深紫外）光刻機製造設備，這是中國半導體產業推進國產化替代的重要進展。據悉，該企業計劃於2026年生產約5台DUV光刻機，並在2027年擴大至約20台。雖然與荷蘭光刻機巨頭ASML的產能仍存在差距（ASML去年交付131套浸沒式DUV光刻系統），但國產DUV設備突破量產意味著中國芯片製造供應鏈進一步向自主可控邁進。消息人士稱，這批國產DUV光刻機計劃交付給中國主要芯片製造商，包括中芯國際、華虹半導體以及存儲芯片廠商長鑫存儲。其中，長鑫存儲作為中國DRAM產業代表企業，預計將成為國產先進半導體製造設備的重要應用方。若國產DUV設備能夠在長鑫存儲等廠商產線中實現穩定運行，將進一步降低中國存儲芯片產業對海外關鍵設備的依賴。截至發文，御渡半導體、中芯國際、華虹和長鑫行儲均未回應置評。